円板表面直上50(mm)の位置に,平板表面直下に焦点を結ぶ開き角=30(deg)の凹面形状の面熱源を配置
熱源温度=1500(degK)〜1800(degK)
温度域を周期0.25(sec)で変動しながら速度=25(mm/sec)で移動
□240(mm)の矩形平板上に置かれた,厚さ0.075(mm)のウェハ円板
から50(mm)離れ離れた位置に直径26(mm)の凹面形状熱源を2種類
(温度変動,温度一定)配置
ウェハ円板と矩形平板を構成する節点を,熱伝導率が温度に依存するトラス要素で接続し,ウェハが反って矩形平板との間に隙間が開いた場合,熱伝導率が極端に小さくなる構成とした.
